エリオニクス社・ELS-S50KB

電子線描画装置

電子線描画装置

概要

電子線に感光する樹脂薄膜にナノメートルからマイクロメートルのパターンを描画する装置です。
電子デバイス、光学デバイス、集積回路などの試作品の開発や、半導体チップの原盤となるマスクの作製に用いられます。

装置の仕様・特色

仕様
 加速電圧: 50kV,30kV,20kV
 最小電子ビーム径: 2nm (於 50kV)
 描画最小線幅: 10nm (於 50kV)
 描画フィールドサイズ: 最大 1.5x1.5mm(3x3mm 於 20kV)   最小 100μm x 100μm
 最大試料サイズ: 4インチφウエハーおよび□4インチマスク

特色
・静電型のビーム偏向器を改良し、1mm□の大面積フィールドに於いても、低歪みで均一な露光が可能。
・高精度リニアエンコーダを搭載し、ステージ位置とビーム位置へのフィードバックにより、つなぎ精度100nm(3σ)以下を実現。
・オート機能の充実により、ビーム調整や描画スタート時の煩わしい操作を大幅に簡略化

自己測定 学内
設置年 2014
装置カテゴリ 微細加工(描画)
適合分野 物理学系
管理部局 自然生命科学研究支援センター
使用責任者

自然科学研究科(工)
林 靖彦(内線 8230)

拠点

03. 自然生命科学研究支援センター  分析計測・極低温部門

共同利用について

利用にあたっての留意事項

使用希望者は、監守者の指示に従ってください。

費用負担

クリーンルーム全体で運営している。
使用時間と使用消耗品費に応じて、装置維持費用の負担をお願いしている。
利用料金はまだ公開していない。

自己測定利用法

監守者へ連絡し、操作方法をご相談ください。

管理責任者・監守者

クリーンルームワーキンググループ
<管理責任者>
 自然科学研究科(工) 林 靖彦 (内線 8230)
<監守者>
 自然科学研究科(理) 後藤秀徳 (内線 7797)本装置担当
 自然科学研究科(理) 武安伸幸 (内線 7845)
 自然科学研究科(理) 久保園芳博(内線 7850)
 自然科学研究科(工) 林 靖彦 (内線 8230)
 自然科学研究科(工) 石川 篤 (内線 8140)

利用方法や利用規程 http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/files/upload/files/dia/kitei_riyouyoukou.pdf
予約するお問い合わせ

設置場所

コラボレーションセンター 2階 208号室

208
内線:8744
Googleマップで見る