本体: キーエンス SEM VE-9800、 分析装置: EDAX社 EDX検出装置

走査型顕微鏡 (走査電子顕微鏡SEM, エネルギー分散型X線分析装置含む)

走査型顕微鏡 (走査電子顕微鏡SEM, エネルギー分散型X線分析装置含む)

概要

可搬型SEMは光学顕微鏡では実現できない倍率(30000倍)での物質観察が実現できるが、これまでの装置に比べ操作が簡便で、試料の多くは前処理なしでも観測が可能である。既存のSEMに比べ、試料台のチルト、観察位置の変更が電子線焦点範囲内で出来、3D立体像の作成・観察が可能になっている。また保守部品の交換がカセット化され、簡単化されているため、専任オペレーターを必要とせず、これまでSEM利用を考えたこともない分野での活用が期待出来る。
また分析装置は、顕微鏡(SEM)と連携して使用する。電子線照射位置から発生する特性X線を用い試料表面の定性・定量元素分析が可能.

装置の仕様・特色

倍率100,000倍までの表面画像が観測可能で、維持管理が容易な反射型電子顕微鏡であり、三次元画像、計測など多様な機能をあわせもつ。
元素分析も、定性・定量分析が可能で、スポット、線、平面分析のオプションがある。

自己測定 学内
設置年 2008
装置カテゴリ 5.顕微鏡・イメージング
適合分野 物理系
管理部局 自然科学研究科(理)
使用責任者

自然科学研究科(理学部)
小林 達生 (内線 7826)

拠点

03. 自然生命科学研究支援センター  分析計測・極低温部門

共同利用について

利用にあたっての留意事項

利用にあたっては、事前に利用申込書を提出し利用の可否を確認する。利用は講習会を行っているので参加すること。

費用負担

(29年度)
自己測定のみ (学内のみ):200円/1日

http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/files/upload/files/20170321_dia_fee_all.pdf
自己測定利用法

利用資格:  監守者の指導・講習を受けた学内職員・学生
利用の申請: 監守者に申し込む

管理責任者・監守者

管理責任者
   自然科学研究科(理) 小林達生 (内7826)
監守者
   自然科学研究科(理) 神戸高志 (内7829)

その他

消耗品は自費にてご準備ください。

利用方法や利用規程 http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/files/upload/files/dia/kitei_riyouyoukou.pdf
機器利用の申込・お問い合わせ

設置場所

コラボレーションセンター 3階 309号室

309
内線:8749
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