日立、FB-2000 (平成7年 原取)

集束イオンビーム加工装置

集束イオンビーム加工装置

概要

きわめて細く集束したGaイオンビームを試料表面で走査することにより、試料表面をナノメートルの精度で加工したり、発生した二次電子などを検出してSIM像を観察したりすることのできる装置です。
薄膜材料表面の微細加工、特定箇所の断面及び平面TEMおよびSEM試料の作製など、ナノテクノロジー分野の研究に用いることができます。

自己測定 学内
設置年 2014
装置カテゴリ 微細加工(描画)
適合分野 物理学系
管理部局 自然生命科学研究支援センター
使用責任者

自然科学研究科 (工)
林 靖彦 (内線 8230)

拠点

03. 自然生命科学研究支援センター  分析計測・極低温部門

共同利用について

利用にあたっての留意事項

使用希望者は、監守者の指示に従ってください。

費用負担

クリーンルーム全体で運営している。
使用時間と使用消耗品費に応じて、装置維持費用の負担をお願いする予定。

自己測定利用法

監守者へ連絡し、操作方法をご相談ください。

管理責任者・監守者

クリーンルームワーキンググループ
<管理責任者>
 自然科学研究科(工) 林 靖彦 (内線 8230)
<監守者>
 自然科学研究科(理) 武安伸幸 (内線 7845)本装置担当
 自然科学研究科(理) 後藤秀徳 (内線 7797)
 自然科学研究科(理) 久保園芳博(内線 7850)
 自然科学研究科(工) 林 靖彦 (内線 8230)
 自然科学研究科(工) 石川 篤 (内線 8140)

利用方法や利用規程 http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/files/upload/files/dia/kitei_riyouyoukou.pdf
機器利用の申込・お問い合わせ

設置場所

コラボレーションセンター 2階 208号室

208
内線:8744
Googleマップで見る