Talor Hobson社製 Talyscan他

超精密現象デジタル解析装置

超精密現象デジタル解析装置

概要

三次元表面形状をスタイラスにより測定し,さまざまなパラメータにより表面特性を解析する.

装置の仕様・特色

最大測定領域: 1mm x 1mm
垂直分解能:  0.1um

自己測定 部局内限定
設置年 2002
装置カテゴリ 9.専用測定装置
適合分野 物理学系・その他(機械系)
管理部局 自然科学研究科(工)
使用責任者

自然科学研究科
大橋 一仁
(内線 8041)

拠点

03.自然生命科学研究支援センター 分析計測・極低温部門

共同利用について

利用にあたっての留意事項

利用方法等について指導を受ける必要あり。

自己測定利用法

利用資格:  利用方法等について指導を受ける必要あり。現在のところ,使用料負担無し。
利用の申請:監守者に申し出る。

管理責任者・監守者

管理責任者 自然科学研究科(工)教授  藤井正浩 (内8035)
監守者   自然科学研究科(工)准教授 大橋一仁 (内8041)

機器利用の申込・お問い合わせ

設置場所

コラボレーションセンター
 1階
 101号室

101
内線:8737
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