旭商会 (平成17年 原取)
高真空中(10-4~10-5 Pa)において、金属材料などを抵抗加熱により蒸発させることで、薄膜を作製することができる。
物理、化学、工学、材料、無機、固体、圧力
| 設置年 | 2014 | 
|---|---|
| 装置カテゴリ | |
| 適合分野 | 物理学系 | 
| 管理部局 | 自然生命科学研究支援センター | 
| 使用責任者 | 自然科学研究科(工) | 
| 拠点 | 03. 自然生命科学研究支援センター 分析計測・極低温部門 | 
 
					
							| 利用にあたっての留意事項 | 使用希望者は、監守者の指示に従ってください。 | 
|---|---|
| 費用負担 | クリーンルーム全体で運営している。 | 
| 自己測定利用法 | 監守者へ連絡し、測定方法をご相談ください。 | 
| 管理責任者・監守者 | クリーンルームワーキンググループ | 
| 利用方法や利用規程 | http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/files/upload/files/dia/kitei_riyouyoukou.pdf |