3次元光学プロファイラーシステム：岡山大学自然生命科学研究支援センター分析計測・極低温部門分析計測分野

微細加工等のプロセスが施された表面や物体表面の三次元形状を走査型白色光干渉技術により0.1ナノメートルの垂直分解能で高速測定し、測定面の性状を多彩なパラメータにより定量的に解析評価するとともに、その結果を高解像度でカラーグラフィクス表示する。

測定原理:　走査型白色干渉法
　垂直分解能:　0.1nm
　垂直測定範囲:　150μm
　観察視野:　 0.04x0.03mm ~ 14.14x10.6mm
　CCD画素:　640x480 (Max)

自己測定学内学外

利用にあたっての留意事項	利用方法等について指導訓練を受ける必要あり。予約制。不適切な操作・取扱いに起因する故障については,利用者に修理費用の負担を求めることがある。
費用負担	自己測定のみ　　(学内):330円/0.5時間　(学外):1.650円/0.5時間
自己測定利用法	利用資格:　　講習会受講利用の申請:　原則としてWEB予約システムから申込み
管理責任者・監守者	【管理責任者】　　自然科学研究科(工)　藤井正浩(内線8035) 【監守者】　　　　自然科学研究科(工)　大橋一仁(内線8041)
利用方法や利用規程	http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/files/upload/files/dia/kitei_riyouyoukou.pdf