Talor Hobson社製 Talyscan他
超精密現象デジタル解析装置
概要
三次元表面形状をスタイラスにより測定し,さまざまなパラメータにより表面特性を解析する.
装置の仕様・特色
最大測定領域: 1mm x 1mm
垂直分解能: 0.1um
自己測定
学内
| 設置年 | 2002 |
|---|---|
| 装置カテゴリ | |
| 適合分野 | 物理学系その他(機械系) |
| 管理部局 | 自然科学研究科(工) |
| 使用責任者 | 自然科学研究科 (工学部)大橋一仁 |
| 拠点 | 03. 自然生命科学研究支援センター 分析計測・極低温部門 |
