JEOL JSM-IT800(SHL)/ Oxford ULTIM MAX, ULTIMEXTREME，SymmetryS2
先端機素表面・性能システム 1-1.走査型電子顕微鏡システム
概要
主な用途：試料の表面観察と元素分析が可能。SEMは細い電子線を試料に照射し、試料表面から放出される電子の情報(二次電子、反射電子)をもとに、試料表面の凹凸や組成の違いによるコントラストを得ることで試料を観察する。また、EDS/EBSDを組み合わせることで試料表面の元素分析、結晶方位や歪みなどを解析できる。
Key words: SEM, FE-SEM, EDS, EBSD, 微細構造
装置の仕様・特色
分解能： 0.5 nm(15 kV)/ 0.7 nm(1 kV), 倍率： ×25 〜 2,000,000
加速電圧：0.01〜30kV
標準検出器：二次電子検出器、反射電子検出器、上方ハイブリッド検出器
低真空モードの反射電子検出器
試料サイズ：最大径 100 mm, 最大高さ 40 mm（WD 5mm）
分析機能：EDS, EBSD, 低真空モード：可能
| 設置年 | 2022 |
|---|---|
| 装置カテゴリ | 電子顕微鏡および関連機器 |
| 適合分野 | 化学系・物理系・生物系・工学系・医学系・薬学系・地学系・その他 |
| 管理部局 | 環境生命自然科学学域(工) |
| 使用責任者 | 【管理責任者】 |
| 拠点 | 03.自然生命科学研究支援センター 分析計測・極低温部門 |
共同利用について
| 利用にあたっての留意事項 | 学内限定で自己測定利用を受け付けている。 利用方法等について指導訓練を受ける必要あり。予約制。 |
|---|---|
| 費用負担 |
(R5年10月~) |
| 自己測定利用法 |
１．初めて利用する方はページ下「お問い合わせ」よりトレーニングの申込をしてください。 お問い合わせの際は測定項目（試料観察のみ or 試料観察＋EDS分析）、サンプルの組成、試料形態（粉末、固体、サイズなど）の情報を記載してください。 ２．トレーニング受講後、装置利用に関する「誓約書並びに利用資格申請書（トレーニング後にお渡しし ３．書類提出後、設備NW（予約システム）*より先端機素表面・性能システム1-1. 走査型電子顕微鏡シ 設備管理者が承認した後、設備NWから予約し装置を利用してください。 |
| 管理責任者・監守者 |
【管理責任者】環境生命自然科学学域(工) 藤井 正浩(内線 8035) |